CCZK-DLC 類金剛石鍍膜設備
采用非平衡閉合磁控濺射 / FCVA 過濾陰極電弧技術，低溫沉積含氫 / 無氫 DLC 涂層，具備低摩擦、高耐磨、自潤滑特性
聯系地址：江蘇省南通市通州灣示范區(qū)大豫鎮(zhèn)江新路16號
1. 摩擦系數≤0.15，自潤滑性優(yōu)異，無需額外潤滑
2. 無氫 ta-C 涂層硬度高達 63GPa，耐磨性能卓越
3. 低溫 (100~200℃) 沉積，適配熱敏性基材
4. 膜層致密，耐酸堿、耐腐蝕、抗鹽霧
1. 自主 DLC 工藝，膜層應力小，不開裂、不脫落
2. 三維可移出轉架，裝夾便捷，適配多規(guī)格工件
3. 全自動操作系統(tǒng)，工藝參數一鍵調取
4. 兼容多類 DLC 膜系，滿足不同工況
| 型號 | CCZK-1012-DLC | CCZK-1416-DLC |
| 腔體尺寸 | D1000mm*H1200mm | D1400mm*H1600mm |
| 負載功率 | 140KW | 170KW |
| 占地面積 | L5400mm*W5200mm*H2900mm | L6155mm*W5050mm*H3210mm |
| 可鍍顏色 | 黑色、深灰色、啞光黑,七彩 | |
| 可鍍膜層 | 含氫 DLC、無氫 ta-C、W-DLC、GLC、WC/C；硬度 1500HV~63GPa，摩擦系數≤0.15 | |
| 真空系統(tǒng) | 擴散泵/渦輪分子泵+羅茨泵+機械泵+維持泵（深冷系統(tǒng)可選） | |
| 極限真空 | 5*10??Pa | |
| 轉動系統(tǒng) | 行星自轉和公轉系統(tǒng) 6/8/10/12/16軸 | |
| 鍍膜系統(tǒng) | CKB?平面濺射陰極 / CKB?圓柱濺射陰極 / IET?離子蝕刻源 / 分布式 MFC 氣路 / HIPIMS 濺射 | |
| 電源 | 脈沖直流濺射電源 / 雙極濺射電源 / 射頻濺射電源 / 脈沖偏壓電源 / HIPIMS 電源 / IET?蝕刻源電源 | |
| 操作系統(tǒng) | 全自動（IPC/PLC）+遠程操作+報警系統(tǒng) （支持OPC-UA Link協議） | |
| 備注 | 具體配置大小均可根據客戶的鍍膜產品要求進行設計 | |
廣泛應用于發(fā)動機活塞、滑動密封件、有色金屬切削刀具、醫(yī)療器械、手機精密配件、高端表帶及首飾，可鍍制含氫 DLC、無氫 ta-C、W-DLC、GLC、WC/C 等涂層，實現黑色、深灰、啞光黑、七彩等色系。膜層硬度 1500HV~63GPa，摩擦系數≤0.15。
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