CCZK-OGS光學(xué)精密鍍膜設(shè)備
采用電子束蒸發(fā) / 磁控濺射復(fù)合技術(shù)，搭配離子源輔助沉積，專為多層精密光學(xué)膜系設(shè)計，實現(xiàn)高均勻度、高純度、高精度的光學(xué)膜層沉積
聯(lián)系地址：江蘇省南通市通州灣示范區(qū)大豫鎮(zhèn)江新路16號
1. 進口膜厚監(jiān)控系統(tǒng)，控厚精度≤±1%，膜系重復(fù)性優(yōu)異
2. 離子源前置清洗，膜基結(jié)合力顯著提升
3. 高真空環(huán)境，膜層無雜質(zhì)，光學(xué)性能達標(biāo)率 100%
4. 兼容多類鍍膜工藝，工藝適配性極強
1. 晶控 / 光控雙模式膜厚監(jiān)控，全自動閉環(huán)控制
2. 立式一體化結(jié)構(gòu)，占地小、操作便捷
3. 離子源輔助沉積，膜層致密牢固
4. 手動 / 全自動雙模式，兼顧研發(fā)與量產(chǎn)
| 型號 | CCZK-1350-OGS | CCZK-1600-OGS | CCZK-2050-OGS |
| 腔體尺寸 | D1350mm*H1350mm | D1600mm*H1500mm | D2050mm*H1600mm |
| 負載功率 | 67KW | 86KW | 105KW |
| 占地面積 | L5700mm*W4900mm*H3050mm | L6800mm*W5800mm*H6780mm | L8300mm*W7000mm*H4200mm |
| 可鍍模層 | AR 增透膜、AF 防指紋膜、高反射膜、濾光膜、BBAR 寬帶增透膜；AF 膜硬度≥6H，光學(xué)膜層致密無針孔 | ||
| 真空系統(tǒng) | 擴散泵/渦輪分子泵+羅茨泵+機械泵+維持泵（深冷系統(tǒng)可選） | ||
| 極限真空 | 5*10??Pa | ||
| 轉(zhuǎn)動系統(tǒng) | 行星自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)系統(tǒng) 6/8/10/12/16軸 | ||
| 鍍膜系統(tǒng) | E型電子束 霍爾離子源 分布式 MFC 氣路 CTM? 石英晶體膜厚監(jiān)測儀 | ||
| 電源 | 電子束電源 等離子體電源 | ||
| 操作系統(tǒng) | 全自動（IPC/PLC）+遠程操作+報警系統(tǒng)（支持OPC-UA Link協(xié)議） | ||
| 備注 | 具體配置大小均可根據(jù)客戶的鍍膜產(chǎn)品要求進行設(shè)計 | ||
廣泛應(yīng)用于手機攝像頭鏡片、光學(xué)鏡頭、眼鏡片、車載顯示玻璃、VR/AR 光學(xué)元件及精密濾光片，可鍍制 AR 增透膜、AF 防指紋膜、高反射膜、濾光膜、BBAR 寬帶增透膜。AF 膜硬度≥6H，各類光學(xué)膜層致密無針孔。
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